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  • 300PT日本KURODA硅片平整度 / SORI 測量系統
    300PT日本KURODA硅片平整度 / SORI 測量系統

    日本KURODA硅片平整度 / SORI 測量系統 用于成膜時(shí)的工序控制和卡緊時(shí)平整度控制 水平旋轉、真空卡盤(pán)式φ300mm晶圓用表面形狀檢驗裝置。 邊緣排除區小1mm,可進(jìn)行盒至盒的SORI、平整度等高精度自動(dòng)測量。

    更新時(shí)間:2023-09-11型號:300PT
  • TT系列日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統
    TT系列日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統

    日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統 同步檢驗表面形狀、背面形狀和平整度! NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉、邊緣夾持式晶圓的平整度測量裝置。邊緣排除區小1mm,可進(jìn)行盒至盒的高精度自動(dòng)測量。評價(jià)項目依據SEMI標準。

    更新時(shí)間:2023-09-11型號:TT系列
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